- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：真空烤盤爐
- 產(chǎn)品型號：YY-650G真空烘烤爐
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。
產(chǎn)品描述
應(yīng)用范圍：
主要用于有效處理MOCVD承受器 （SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。
設(shè)計特點：
1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機
2、降溫時風(fēng)機開啟，同時兩端降溫封頭開啟， 爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向
3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進 行熱交換，達到快速降溫的目的
4、內(nèi)部系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及原理：
規(guī)格信息：
